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| 型号 | 台面尺寸 (mm) | 移动行程 (mm) | 分厘卡最小读取量(um) | 平行度(um) | 移动精度真直度(um) | 荷重 (kgf) | 本体重量(kg) |
| MZA-25 | 25x25 | ±2 | 10 | 100 | 3 | 1 | 0.06 |
| MZA-40 | 40x40 | ±3 | 10 | 100 | 3 | 1 | 0.2 |
| MZA-40H | 40x40 | ±3 | 10 | 100 | 3 | 2 | 0.2 |
| MZA-60L | 60x60 | ±3 | 10 | 100 | 3 | 2 | 0.3 |
| MZA-60 | 60x60 | ±5 | 10 | 100 | 3 | 4 | 0.6 |
| MZA-80 | 80x80 | ±5 | 10 | 100 | 3 | 3 | 1 |
| 轨道特性说明 | |||||
| 轨道方式 | 特性说明 | 产品应用 | 移动精度 | 耐荷重 | 刚性 |
| 交叉滚柱导引 | 移动的滑轨是两个V型沟滑槽经热处理硬化后，施行高精度成型研磨加工，与转动滚柱轴承构成，轴承相连，以90度的角度轮流移动，达到高平行度及高平面度使用需求。在构造上，V型构槽和交叉滚柱，因为是用线接触方式传动，因此可得到高精度的移动，及耐荷重的表现。 | 此产品可应用在高精度、重荷重的精密移动装置、光学实验之精密量测、精密微调最适合、各种生产机械，检查装置，精密定位，定量移动等等。 | 优 | 佳 | 优 |
| 线 性 滚 珠 导 引 |
滑轨与本体是一体的，哥德式弧型构槽施行高精度成型研磨加工，达到高平行度及高平面度。哥德式弧形构槽在本体的上、下滑轨面，各由双孤槽构成，单槽移动的钢球是二点接触的架构，双弧槽总共四个接触点，构成坚固的滑轨结构。因SUS-STAGE的滑轨，是将钢球组装导引进弧形沟槽而成的，在组装上减少传统的调整与校正所需要的工时，亦不需要调整螺丝，可除去因螺丝鬆动所导致的精度维修问题和工时。 | 此产品应用在高精度，中荷重的精密定位装置，生产设计整合系统，光学实验，精密传送，精密微调的机构设计应用。 | 优 | 优 | 优 |
| 鸠 | 鸠尾槽式平台－齿轮齿条 | 此产品应用在光学仪器装置、测定器、检查装置、半导体製造装置、试验机、显微镜、搬运机、加工机、医疗机器、印刷机及其它。 | 可 | 佳 | 佳 |
尾 |
（主要材料：低镉黄铜或铝合金）备有适合以装入模式安装的小型、粗微动、大型等多款型号。驱动调整模式为齿轮齿条。适用于使用频率较高，需要快速移动与较大行程的情况。 | ||||
| 螺牙驱动平台 | |||||
| 槽 | （主要材料：低镉黄铜] 备有便携式的标准型和适合内置模式安装的滑块型。驱动调整模式为螺杆模式。适用于使用频率较低，进行微小调整的场合。 | ||||
| 双 | 藉由左右2边之圆棒来辅助中间的传动机构，进行滑台之运作，传动机构如下： | 此产品应用于治具、摄影机、感应器、喷嘴、输送带导料槽宽等不需高精度调整的微调上。 | 可 | 可 | 可 |
| 圆 | 进给螺丝式 | ||||
| 棒 | 利用螺丝的推压来移动平台，另一端搭配弹簧回推特性抑制间隙产生。适用于承载轻量物品、精密进给时使用。 | ||||
| 型 | 螺牙式 | ||||
| 藉由螺牙穿过平台来移动滑台，作为Z轴使用时，滑台会配合螺丝进给移动，相较于进给螺丝搭配弹簧传动，耐荷重较佳。 | |||||
| 滑台主要进给方式 | |||
| 主要进给方式 | 特性 | 把手旋转一圈的移动量 | 适用之导引装置 |
| 齿轨与齿轮 | ● 适合快速大量进给的情况。 | 17~20 mm | ● 鸠尾槽 |
| ● 不适合做精密定位。 | |||
| 进给螺丝 | ●利用精密螺纹之螺距，进行简易精密移动的情况。 | 0.25~1 mm | ● 鸠尾槽 |
| ● 由于比分厘卡测头更便宜，被利用于多样产品上。 | ● 交叉滚柱 | ||
| ● 线性滚珠 | |||
| 分厘卡测头 | ● 一般精度读取单位以0.01mm，适合做精密调整。 | 0.5 mm | ● 鸠尾槽 |
| ● 交叉滚柱 | |||
| ● 线性滚珠 | |||
| 粗微动分厘卡测头 | ● 可分为粗动(一般进给)和微动(微量进给)使用。 | 粗调：0.5 mm | ● 交叉滚柱 |
| ● 此为特殊进给装置，成本较高。 | 微调：0.025mm | ● 线性滚珠 | |
| ● 以差动构造，细微传送。 | |||
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