手动升降滑台升降装置制作方法

本实用新型涉及一种通过调节加热盘升降来调节两极板间间距的手动升降装置，属于半导体薄膜的沉积应用及制造技术领域。

背景技术:

目前，半导体电镀设备，特别是12英寸PECVD设备产品的加热盘升降调节机构由电动滑台(气动滑台)、导轨、波纹钢管、上下连接法兰、导向机构、调平机构、密封机构、传感器和支架构成动力连通时，滑台在导向机构的引导下上下移动，通过传感器反馈位置实现加热盘的升降调整。 但是，上述复杂的调整结构可以满足调整加热盘升降的需要，满足升降位置反馈和调整的需要，但由于设备的工作环境一般为400°C以上的高温，调整和反馈的信号容易干扰，维护时设备的 高端电子设备的成本也不会变小，上述闭环全自动的设计结构并不完全适应半导体电镀行业的现状。

本实用新型的目的是针对上述现有技术的不足，提供一种占地面积小、结构简单、容易调平的新型手动升降装置。 为了实现上述目，本实用新型包括波纹管组件，波纹管组件通过焊接形成波纹管组件和上下凸缘. 在此基础上，法兰固定在加热盘底部，下法兰按压密封件固定在稳定流室底部，实现波纹管的固定和密封。 波纹管组件的下法兰与导向铜套连接，在整个装置的垂直方向上被导向。 所述导向铜套与线母连接，线母与螺杆卡合，通过转动螺钉固定座、铜套和手柄实现螺杆的顺利旋转。 指针固定在导套上，刻度板环在把手的外圈上。 调整刻度盘时，刻度盘会准确地指示旋转行程，刻度在数量级表示上升或下降的位移。 导向铜套的外周有与弹簧相连的螺栓，用于微调加热盘的水平。 通过弹簧的自锁功能，可以在调整中获得可调整的效果。 本实用新型采用简单可靠的机械传动机构和直观的刻度盘、标尺代替现有技术的滑台和传感器，其结构简单。 另外，在实现基本功能需求的基础上，可以完全实现加热柜的升降调整、极距调整，加之机构整体空间小，调平和拆卸维护简单，保证升降高度的反馈直观，成本低廉 适用于科研机构和小型Fab工厂所需的经常性调整试验参数，反复调整比对实验结果的目的。

具体实施方式：

波纹管组件通过焊接形成波纹管和上下凸缘，其上凸缘固定在加热盘底部，下凸缘按压密封固定在稳定流室底部进行波纹管固定和密封，波纹管组件下凸缘与导向铜罩连接，在装置整体的上下方向上

根据权利要求1所述手动升降装置，其特征在于，所述螺杆(8)为t型结构。

摘要专利手动升降装置主要解决了现有产品结构复杂、成本高等技术问题。 该装置包括波纹管组件，波纹管组件由波纹管和上下法兰焊接而成。 在此基础上，固定在加热盘底部，下法兰按压密封件固定在稳定流室底部，实现波纹管的固定和密封。 在整个装置的垂直方向上被导向。 指针固定在导铜套上，刻度板环固定在把手的外圈上，导铜套的外周设有与弹簧连接的螺栓。 本装置采用简单可靠的机械传动机构和直观的刻度盘、标尺代替传统的滑台和传感器，结构简单，拆卸维护方便，成本低廉。 适应科研机构和小型Fab工厂所需的经常性调整试验参数，反复调整比对实验结果的目的。