本实用新型涉及滑台技术领域,特别是精密型电动滑台,包括电动滑台,在底座上设置了驱动单元和顶部安装板,所述驱动单元控制了顶部安装板的位移,所述驱动单元包括马达、螺杆、螺母和滑块,所述马达的输出轴与所述螺杆连接,所述螺母与所述螺杆连接,所述螺母与所述滑块固定连接,所述顶部安装板的内部凹陷形成空腔,容纳所述螺杆、跳跃和滑块,所述滑块与所述顶部安装板固定连接,所述马达驱动所述螺杆旋转动所述螺旋转动所述螺旋,所述螺旋转动器具有较高的传动效果,具有较高的传动功能,具有传动功能,具有传动功能。
与传统的旋转电机相比,直线电机具有效率高、加工精度高、使用寿命长等优点,在精密仪器、医疗器械、半导体等众多领域得到广泛应用.但直线电机作为铅垂轴的驱动平台,在使用过程中,需要考虑重力平衡装置的影响.本文设计了一种基于直线电机驱动的三轴精密运动滑台,研究了其机械结构和直线运动控制问题,研究表明,重力平衡装置的响应速度、定位精度等动态性能是设计的关键.考虑铅垂向重力平衡的结构,研究了该平衡结构的快速响应性和定位精度问题.首先,在分析三轴精密运动滑台总体结构设计方案的基础上,提出了直线电机、反馈元件、直线导轨等的结构设计,并通过ADAMS软件进行动力学仿真,分析了平衡阻尼对平衡装置的影响.