伺服电动滑台

精密滑台的实际使用例

分配器装置

龙门式XYZ滑台／滚珠丝杠驱动

映射装置

晶片样品台： XY滑台

扫描透镜：单轴执行器

搬运装置（2个零件同时）

XZ滑台／Z×2台 安装

上述列举的例子是电子领域最具代表性的装置引进例。

顺便说一下，本稿未过多提及滑台的精度，不同用途所要求的精度水平各式各样，大致为50µm～5nm，

要求的精度不同，设计上、驱动方式和机构，以及控制方针都不同。