日本精密对位平台工作原理

精密对位平台包括对位模块固定板、移动板、x方向移动装置、第1y方向移动装置、第2y方向移动装置，x方向移动装置、第1y左右方向移动装置、第2y方向移动装置分别与该移动板对应对位模块固定板、及 包括设置在该定位模块固定板上的x方向动力装置、第1y方向动力装置和第2y方向动力装置，x方向动力装置使x方向移动装置沿x方向往复运动，x方向移动装置使该运动板沿x方向往复位移，第1y方向动力装置使第1y方向移动装置沿y方向往复运动， 第1y方向移动装置使该运动板在y方向往复位移，第2y方向动力装置使第2y方向移动装置在y方向往复移动，第2y方向移动装置使该运动板在y方向往复位移。

x方向移动装置包括经由轴承可动地连结x方向移动板，在x方向移动板的下端面，在上方设有沿着对准模块固定板上的第一固定板滑槽往复移动的滑轨、和沿着该滑槽往复移动的滑轨。

第一y方向移动装置包括经由轴承可移动地连结第一y方向移动板，在第一y方向移动板的下端面，在上方设有沿着对准模块固定板上的第二固定板滑动槽往复移动的滑动轨道、和沿着该滑动槽往复移动的滑动轨道。

第二y方向移动装置具备经由轴承可移动地连结第二y方向移动板，在第二y方向移动板的下端面，在上方设有沿着对准模块固定板上的第三固定板滑动槽往复移动的滑动轨道、和沿着该滑动槽往复移动的滑动轨道。

x方向动力装置包括电机和固定连接于该电机的偏心轮，该偏心轮与x方向移动板之间由弹簧连接，消除了该偏心轮与x方向移动板之间的间隙。

第一y方向动力装置包括电机和固定连接在该电机上的偏心轮，该偏心轮与第一y方向移动板之间通过弹簧连接，该弹簧消除偏心轮与第一y方向移动板之间的间隙。

第二y方向动力装置包括电动机和固定连接在该电动机上的偏心轮，该偏心轮与第二y方向移动板之间通过弹簧连接，该弹簧消除偏心轮与第二y方向移动板之间的间隙。