纳米电动位移台是用来测量什么的？

世界知名的极端环境纳米精度位移器制造商，在稳定优异的性能、原子级定位精度、纳米位移步长和厘米级位移范围内受到科学家的肯定和赞赏。

纳米位移台在提供极高精度的位移控制的同时，保证了优异的稳定性能，适合于室温、大气到超高真空环境，负载为几公里，行程为50mm，最小步长为50nm，搭载的光学位移传感器将位移精度控制在10nm

本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台校准装置，属于激光精密测距技术领域。 所述装置包括支撑台、分光测定装置系统和纳米位移台. 该设计保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米级位移测量的难题，适用于x轴、y轴、z轴和旋转角度的纳米位移台同时变化的全姿态识别和超精密测量校准。

包括支撑系统( I )、激光系统(2)和测量系统(3)，所述支撑系统( I )包括支撑台( 11 )和空气悬浮台( 12 ) 包括纳米位移台( 33 )、测定镜( 38 )和三维干涉仪，所述纳米位移台( 33 )经由纳米位移调整板( 32 )固定在所述悬浮平台( 12 )上，所述纳米位移台( 33 )由所述固定托架( 35 )固定.

2 .根据权利要求1所述的纳米位移计6自由度校准装置，其特征在于，所述激光系统(2)和所述测量系统(3)之间用光纤连接。